(네덜란드 국가대표) ASML : 나노기술을 실현한 EUV, 최고의 노광장비, Lithography
네덜란드 반도체 장비업체인 ASML은 노광장비 분야에서 최고의 기업이자 슈퍼을로 불리고 있는 기업이다. 네덜란드의 삼성전자격인 ASML 스토리 2편에서는 EUV, 나노기술, 매출 현황에 대하여 소개한다. EUV 도입배경 EUV 기술을 활용하면 현재 ArF 광원 기술에 필요한 반복 공정 수가 줄어들게 되며 이로 인해 제조시간이 크게 줄어들고, 생산비도 장기적으로 크게 낮아질 것으로 기대되며 지금보다 훨씬 더 복잡하고 더 많은 트랜지스터를 내장한 반도체를 만드는 것도 수월해진다. 이러한 제조상의 메리트가 많은 관계로 반도체 파운드리 분야에서 경쟁 중인 삼성전자와 TSMC가 본격 도입을 하기 시작을 했으며 인텔도 EUV 공정을 도입한다는 선언을 하였다. EUV 특징 EUV는 기존 불화 아르곤(ArF) 레이저보..